日本レーザー取扱い　半導体装置用途に好適。MicroSense社静電容量センサ

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日本レーザー取扱い　MicroSense（マイクロセンス）社　静電容量センサは、ナノメートルの分解能で、高分解能非接触ウエハ厚さ測定など半導体装置用途に好 適です。 アウトガスが少ないため超高真空環境にも対応。SEM,