日本レーザー取扱い 半導体装置用途に好適。MicroSense社静電容量センサ
2017年 1月 10日 にアップロード
日本レーザー取扱い MicroSense(マイクロセンス)社 静電容量センサは、ナノメートルの分解能で、高分解能非接触ウエハ厚さ測定など半導体装置用途に好 適です。
アウトガスが少ないため超高真空環境にも対応。SEM, FIBシステムに最適です。
動画では、半導体関連の種々のアプリケーションにおけるMicroSense社静電容量センサの利点についてご紹介しています。
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