月刊OPTORNICS 2014年1月号のご紹介

2013年 12月 26日 にアップロード

月刊OPTRONICS 1月号が刊行しました。新年号の特集は「光ナノインプリントリソグラフィの新潮流」です。

ナノインプリントは，凹凸のパターンを形成したモールドを基板上の液状ポリマー等へ押し付け，パターンを転写する技術で，10nmレベルのナノ構造体を安価に大量生産できることから，光素子や半導体などに応用しようとする動きが注目されています。

月刊OPTRONICS 1月号の特集では，平成20年から5年にわたってJSTの戦略的創造研究事業の研究領域「次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究」で行なわれた「超高速ナノインプリントリソグラフィ技術のプロセス科学と制御技術の開発」の研究成果をまとめて頂きました。

 

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