ミツミ電機が開発するレーザディスプレイ向けMEMSミラー
2013年 3月 5日 にアップロード
ミツミ電機が開発するMEMSミラーを使用した，レーザディスプレイの試作機です。 このMEMSは基板にPZT溶液をスピンコートし，焼結させて作製しています。真空蒸着装置を用いずに，比較的大面積の成膜が可能なのが特長です。 試作したディスプレイは，水平方向に25kHzの共振駆動で動作します。またMEMSはセンサとしても動作し，振れ角を検出したり，異常停止を検知する安全装置も兼ねています。
動画の長さ :
カテゴリー:
MEMS, ディスプレイ, 光動画ステーション
タグ:
