産総研の新MEMS製造プロセス

2012年 7月 17日にアップロード

産総研が新たに開発した，印刷と射出成型で作るMEMSです。従来の半導体プロセスが不要になり，安価にMEMSを製造することができます。ここでは試作した照明器具向け配光MEMSデバイスを紹介しています。

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